現像機

現像機

 

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現像とは

現像工程とは、レジスト塗布したプリント基板やガラス基板に、露光工程でパターンを焼付けた後、不要なレジストを溶解し（必要なパターン部のみレジストを残す）、次工程でエッチングされないようにする工程です。

 

当社では現像機単体から、ポストベイクと一体化したインライン仕様まで多様な製作実績があります。

現像液

ワークやレジストにもよりますが、アルカリ水溶液や有機溶剤系現像液を使用する事が多いです。

 

現像工程

現像工程は主に下記のような工程フローで行われます。

現像工程では、不要なレジストを溶解し必要なパターン部分のみレジストを残すことを目的としています。

 

露光後現像をする前にレジストに含まれる水や有機溶剤成分を乾燥させ、現像工程がスムーズに進むようにプリベイクと呼ばれる工程を挟むことがあります。

 

現像後、若干の水成分や現像液の成分が付着する場合があります。これらを乾燥除去するためにポストベイクを挟んでからエッチングすることもあります。

 

当社では、前工程、後工程へスムーズに受け渡しが出来るよう、ローダー・アンローダの仕様もお客様に合わせて設計いたします。

現像液供給設備

現像を行う上で現像液を安定させる必要があります。現像液濃度、液温度、液補充などを最適な条件で保つことで品質が安定します。

 

当社では、現像機を設計する上で必要に応じて、薬液供給設備を提案しております。

パドル現像

起立搬送型現像装置

枚葉・水平搬送型現像装置

ディップ式現像装置

ハンガー式現像装置

手動現像機

その他の現像装置

上記以外でも多数の納入実績があります。お客様の様々なシーンに合わせて設計・製造を承っております。