コーター装置

コーター装置

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コーター装置とは

フォト処理工程の一例

ガラス・半導体ウェハー・金属フィルムなどの基材に対して、塗工対象物を製膜する装置であり、その手法はウェットコーティングとドライコーティングに大別されます。

【ウェットコーティング】はレジスト液やホットメルト接着材等の液体材料を塗布する方法で、代表的な装置として以下が挙げられます。

• ・ディップコーター
• ・スプレーコーター
• ・スピンコーター
• ・ロールコーター
• ・スリットコーター

【ドライコーティング】は真空中で製膜する方法で、蒸着装置やスパッタ装置があります。

当社ではこれまで、ウェット系レジスト塗布装置を数多く製作してきました。コーター装置に限らず、前処理装置や投入/取出装置と複合したライン製作の実績があります。

ディップコーター