ガラスのケミカルピット抑制装置

ガラスのケミカルピット抑制装置

液晶ガラス基板の薄型化加工においては「機械研磨」と「ケミカル研磨」の2種類の工法が代表的です。

昨今では、1枚のガラス基板にかかる処理タクトの優位性から、ケミカル研磨が主流になっています。

ケミカル研磨にはいくつかの方式がありますが、大型化する液晶ガラス基板にあわせ、当社ではガラス基板を寝かせた状態で搬送する枚葉方式のケミカル研磨装置を設計・製作しています。

ガラスのケミカルピット抑制装置のスペック例

ガラスのケミカルピット抑制装置の製作実績

ガラスのピット発生のメカニズム

元キズや打痕がある状態でケミカル研磨をすると、元キズや打痕が成長しピットになってしまいます。

これをNSC独自のピット抑制処理【NP処理】を施すことで抑制することが可能です。

ガラスのピット抑制処理

ケミカル研磨で目的となる板厚まで研磨したあと、以下のいずれかの理由で機械研磨されるケースがあり、ピット対策にもなります。

しかしながら、全数を機械研磨では十分な量産出力を満足できないケースが殆どです。

また、リペア目的で機械研磨をするにしても、ピット不良発生率次第では機械研磨で生産数が律速し、決められた納期を守ることができなくなるリスクが潜んでいます。

以上のことから、当社のガラス基板のピット抑制装置【NP】はお客様のガラスの薄型化工程の効率改善に寄与できると考えています。